原子吸收發射光譜儀是一種由高頻發生裝置(幾十兆赫茲) 、單色器、光電接收裝置、數據處理系統等組成的設備。其工作原理主要是高頻發生裝置輸出的電感耦合管狀體里(高溫體)注入樣品、氬氣、氮氣等混合氣體(一定比例)。使樣品原子化顯現光譜，用單色器等光學器件來處理光譜，再由光電接收裝置測量它的光譜強度，然后計算機等數據處理系統，根據標準樣品作標準曲線(數學模型)，這樣可以根據標準曲線算出被測樣品含量。

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